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產(chǎn)品名稱(chēng)：高純氮?dú)?br/>
物理性質(zhì)
highpuritynitrogen
分子式：N2
性質(zhì)：純度大于99.999%。無(wú)色無(wú)臭無(wú)味無(wú)毒的惰性氣體。相對(duì)密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
相對(duì)分子質(zhì)量28.013
熔點(diǎn)63.15K,-210℃,-346oF
沸點(diǎn)，195.6
臨界溫度126.1K,-147.05℃,-232.69oF
臨界壓力3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia
臨界體積90.1cm3/mol
臨界密度0.3109g/cm3
臨界壓縮系數(shù)0.292
偏心因子0.040
液體刻密度,-180℃時(shí)0.729g/cm3
液體熱膨脹系數(shù),-180℃時(shí)0.007531/℃
表面張力,-210℃時(shí)12.2×10-3N/m,12.2dyn/cm
氣體密度,101.325kPa(atm)和70oF(21.1℃)時(shí)1.160kg/m3,0.0724lb/ft3
氣體相對(duì)密度,101.325kPa(1atm)和70oF時(shí)(空氣=1)0.967
汽化熱,沸點(diǎn)下202.76kJ/kg,87.19BTU/1b
熔化熱,熔點(diǎn)下25.7kJ/kg,11.05BTU/1b
氣體定壓比熱容cp,25℃時(shí)1.038kJ/(kg·k),0.248BTU/(1b·R)
氣體定容比熱容cp,25℃時(shí)0.741kJ/(kg·k),0.177BTU/(1b·R)
氣體比熱容比,cp/cv1.401
液體比熱容,-183℃時(shí)2.13kJ/(kg·k),0.509BTU/(1b·R)
因體比熱容,-223℃時(shí)1.489kJ/(kg·k),0.356BTU/(1b·R)
氣體摩爾熵,25℃時(shí)191.5J/(mol·k)
氣體摩爾生成熵,25℃時(shí)0J/(mol·k)
氣體摩爾生成焓,25℃時(shí)0KJ/mol
氣體摩爾吉布斯生成能,25℃時(shí)0KJ/mol
溶解度參數(shù)9.082(J/cm3)0.5
液體摩爾體積34.677cm3/mol
在水中的溶解度,25℃時(shí)17.28×10-6(w)
氣體黏度,25℃時(shí)175.44×10-7Pa·s,175.44μP
液體黏度,-150℃時(shí)0.038mPa·s,0.038cp
氣體熱導(dǎo)率,25℃時(shí)0.02475W/(m·K)
液體熱導(dǎo)率,-150℃時(shí)0.0646W/(m·K）[1]
用途
在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
高純氮消防應(yīng)急措施
迅速撤離泄漏污染區(qū)人員到上風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限 制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚，遇點(diǎn)火源著火爆炸。用排風(fēng)機(jī)將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗(yàn)后再用。用霧狀水保持火場(chǎng)中容器冷卻?？捎渺F狀水噴淋加速液氮蒸發(fā)，但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮，感到呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。
